Semitron® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 formas poseen una excelente resistencia al calor y bajas tasas de desgasificación y erosión en cámaras de plasma. Este material de alta pureza con bajo contenido iónico a menudo se elige para aplicaciones de cámara de vacío dentro de las sub segmentaciones de implantes de ENTCH, ECV e ión en la industria de semiconductores y electrónica.

Semitron® MPR 1000 muestra una vida útil aumentada sobre los materiales tradicionales, por ejemplo, hasta 25 veces sobre la poliimida en el ozono en algunos casos. Debido a su longevidad, se especifica con materiales tradicionales utilizados en aplicaciones de cámara de vacío como cuarzo, cerámica, poliimidas y otros plásticos de ingeniería.

Propiedades materiales

Bajo contenido iónico y baja desgasificación

Excelente resistencia al calor

Tasa minimizada de erosión en cámaras de plasma

Resistencia óptima de chips, durabilidad y maquinabilidad

Diseñado específicamente para aplicaciones de cámara exigentes

Aplicaciones: cámaras de vacío basadas en plasma, anillos de abrazadera, anillos de zanja, tornillos, alfileres, cabezales de ducha, anillos de enfoque, aisladores, almohadillas de vacío

Acerca de Semitron ®

Los productos Semitron® Semiconductor Grade se desarrollaron para ayudar a los diseñadores y usuarios a optimizar el rendimiento de los equipos de fabricación de dispositivos. Además de la fabricación de dispositivos, muchos de estos materiales son ideales para entornos específicos donde se requiere resistencia al desgaste, resistencia química y al manejo de la electricidad estática.

Se han desarrollado dos grupos de productos. Uno, muy adecuado para aplicaciones de manejo y prueba de dispositivos, y un segundo para aplicaciones de CMP, plasma y camarón de grabado de próxima generación.

Las calificaciones de semitrón están disponibles en hoja, varilla (algunas formulaciones) y piezas mecanizadas.