PIEK por el semiconductor Tecapeek CMP Natural Ensinger

¿Qué es el anillo de retención de CMP o el anillo de retención de CMP, el anillo de guía de obleas, etc.? El anillo de retención de CMP está instalado en la parte inferior de la cabeza de molienda para fijar la oblea y conducir la oblea para que gire con la cabeza de molienda para lograr el efecto de molienda y pulido en el superficie de la oblea. Es una parte importante del equipo CMP.

El pulido mecánico químico (CMP) es uno de los procesos clave en la fabricación de semiconductores hoy en día. En los últimos años, a medida que el tamaño de la oblea se ha hecho más grande, el tamaño del chip se ha vuelto más pequeño y el cableado del circuito se ha vuelto más delgado. Para obtener el grosor de la película de recubrimiento ideal y los requisitos de recubrimiento en un plano ideal durante el proceso de fabricación, los requisitos de precisión de los componentes periféricos en el proceso CMP se están volviendo cada vez más estrictos.

En el proceso CMP, el anillo de retención de CMP estará en contacto con varios materiales de suspensión, y se requiere que el anillo de retención de CMP sea resistente a la corrosión y el desgaste químicos. También necesita poder resistir las cargas mecánicas y debe tener una buena elasticidad, dureza y resistencia. Para aumentar el rendimiento sin dañar la oblea, el anillo de retención de CMP también requiere una precisión dimensional extremadamente alta.

El pulido mecánico químico (CMP) es un proceso clave en la fabricación de semiconductores. A medida que el tamaño de la oblea se ha vuelto más grande, el tamaño del chip se ha vuelto más pequeño y el cableado del circuito se ha vuelto más delgado, los requisitos de precisión de los componentes periféricos en el proceso CMP, como el anillo de retención de CMP, se están volviendo cada vez más estrictos. Parte mecanizada

Anillo de retención de CMP

Las características del producto del anillo de retención CMP producido por nuestra empresa:

1. Materias primas: utilizamos materiales plásticos de ingeniería de alta calidad, incluidos PPS, PEEK y Materiales templados y apagados de PEEK, para garantizar una alta resistencia a la corrosión química y resistencia al desgaste.

2. Proceso de fabricación: seguimos los estándares de gestión de planitud de productos extremadamente altos, que ayudan a reducir los rasguños innecesarios del cuerpo extraño causados ​​por el anillo de retención de CMP y proporcionan un mejor valor de TTV de oblea en comparación con los productos de otros fabricantes.

3. Proceso de limpieza: utilizamos una excelente tecnología de tratamiento de superficie y métodos de limpieza para reducir los rasguños innecesarios del cuerpo extraño causados ​​por el anillo de retención de CMP.

4. Ventaja de precios: dependiendo de la fuerte capacidad de suministro de materias primas de China y la producción a gran escala, ofrecemos precios más competitivos en comparación con nuestros competidores.

5. Investigación y desarrollo conjunto: trabajamos en estrecha colaboración con nuestros clientes para mejorar nuestros productos y cumplir con sus diversos requisitos de proceso.

6. REFURIDA: También podemos proporcionar a los clientes servicios de renovación y regeneración para productos usados, lo que puede reducir los costos de adquisición para los clientes y ser más amigables con el medio ambiente.

7. Control de calidad: tenemos medidas estrictas de control de calidad para garantizar la consistencia y confiabilidad de nuestros productos de anillo de retención CMP. Cada producto es inspeccionado y probado antes del envío para garantizar que cumpla con nuestros altos estándares.

8. Servicio de clientes: nuestro equipo se dedica a proporcionar un servicio y soporte al cliente excepcional. Trabajamos en estrecha colaboración con nuestros clientes para comprender sus necesidades y requisitos, y nos esforzamos por superar sus expectativas de todas las formas posibles.

Por lo general, elegimos dos plásticos de ingeniería especiales: PPS y PEEK para procesar y producir anillos de retención de CMP.

El material PPS se caracteriza por una alta resistencia al desgaste, una buena resistencia química y resistencia al solvente, así como buenas propiedades de fricción, tipo de material limpio con alta arma, no contaminará la oblea, en comparación con el anillo fijo CMP CMP, el costo de anillo fijo PPS CMP es más bajo, y ha formado una cadena industrial completa, con la familia destaca el rendimiento de los costos.

El anillo de retención de CMP de PEEK tiene un coeficiente de fricción más alto, en comparación con el rendimiento de fricción del anillo de retención de CMP PPS es más excelente, tiene una resistencia química más completa y estable, un rango más amplio de alta resistencia a la temperatura, de modo que el anillo de retención de CMP de vista en el anillo de retención a largo plazo Término del entorno de mecanizado de alta resistencia más estable, en tiempo relativo, las mismas condiciones de trabajo, más larga, pero el costo también será mayor en comparación con algunos.