¿Cuál es el mejor material para usar para el anillo de retención de CMP?

¿Cuál es el mejor material para usar para el anillo de retención de CMP?

Las obleas de silicio son obleas de silicio utilizadas en la producción de circuitos de semiconductores de silicio, y luego el proceso de pulido mecánico en el proceso de producción de las obleas de silicio y es un enlace muy importante, generalmente escuchamos unas pocas pulgadas de obleas, lo que representa cuanto más grande es el diámetro del diámetro del diámetro del diámetro del diámetro oblea de silicio, cuanto mejor sea el rendimiento de esta oblea de silicio, más fuerte es la realización de la fuerza técnica, por lo que en el proceso de producción de las oblees, la tasa de rendimiento se ha convertido en una condición muy importante, que para los requisitos de pulido de la superficie también está aumentando, CMP El proceso de pulido también se está volviendo cada vez más sofisticado, por lo que el proceso de pulido para usar el anillo fijo CMP maduro definitivo

Durante el proceso de pulido de la oblea, el anillo de retención de CMP debe sostener la oblea durante el proceso de pulido. Durante el proceso de pulido, se agregan diferentes productos químicos, y estos líquidos pueden corroer los componentes pulidos, por lo que requiere que el anillo de retención de CMP pueda soportar ciertas cargas mecánicas, buena flexibilidad y resistencia a la corrosión, y otras características.

En resumen, para fabricar anillos de retención de CMP, necesitamos procesadores para tener una precisión de procesamiento muy alta y estabilidad dimensional para reducir el rayado de las obleas más adelante.

Por lo general, elegimos dos plásticos de ingeniería especiales: PPS y PEEK para procesar y producir anillos de retención de CMP.

El material PPS se caracteriza por una alta resistencia al desgaste, una buena resistencia química y resistencia al solvente, así como buenas propiedades de fricción, tipo de material limpio con alta arma, no contaminará la oblea, en comparación con el anillo fijo CMP CMP, el costo de anillo fijo PPS CMP es más bajo, y ha formado una cadena industrial completa, con la familia destaca el rendimiento de los costos.

El anillo de retención de CMP de PEEK tiene un coeficiente de fricción más alto, en comparación con el rendimiento de fricción del anillo de retención de CMP PPS es más excelente, tiene una resistencia química más completa y estable, un rango más amplio de alta resistencia a la temperatura, de modo que el anillo de retención de CMP de vista en el anillo de retención a largo plazo Término del entorno de mecanizado de alta resistencia más estable, en tiempo relativo, las mismas condiciones de trabajo, más larga, pero el costo también será mayor en comparación con algunos.